在高頻淬火機上，齒輪的制作材料和熱處理工藝對其承載能力和尺寸重量影響很大。五十年代以前，齒輪多用碳鋼，六十年代改為合金鋼，七十年代改為表面硬化鋼。根據硬度，齒面可區分為兩種：軟齒和硬齒。

軟齒輪承載能力低，但加工加工容易，跑合性好，多用于一般高頻淬火小批量生產而不受傳動尺寸和重量的嚴格限制。由于在成對齒輪中，小輪組負荷較重，所以為了使大小齒輪工作壽命大致相等，小輪組的齒面硬度一般比大輪組高。

硬齒面齒輪承載能力強，可在齒輪精切后，通過淬火、表面淬火或滲碳淬火來提高其硬度。由于高頻淬火熱處理過程中齒輪不可避免地會產生變形，為了消除變形帶來的誤差，提高齒輪的加工精度，需要對齒輪進行研磨、研磨或精切。