超高頻淬火設備的效率可分為電效率和熱效率。就加熱逆變電源而言，它只提供加熱工件所需的熱功率，通常只提供電效率而不計算熱效率。

超高頻淬火設備電源的效率是指輸入功率可以傳遞到輸出的程度，或者說效率是輸出功率與輸入功率之比的百分比。由于整流器、逆變器的開關和導通損耗、加熱繞組的熱損耗都是通過熱輻射和熱傳導消耗掉的，所以輸出功率P。總是小于輸入功率Pi-個數值，兩者的區別是損耗的功率。

如果這部分功率使用超高頻淬火設備的熱效率是指加熱電源的輸出功率，即工件加熱所需的功率可以轉化為工件加熱的有效功率，或者熱效率是加熱工件獲得的有效功率與加熱工件所需功率之比的百分比。由逆變器的加熱繞組到被加熱工件之間存在氣隙、隔熱層、耐熱層和工作臺平面，會產生熱對流、輻射、傳導等熱功率損失。因此，加熱工件的有效功率總是小于工件加熱所需的功率(即加熱電源所需的輸出功率P)