當今社會飛速發(fā)展，工業(yè)也在穩(wěn)步前進中，對于許多行業(yè)，臥式退火爐是一個很優(yōu)秀的機器。你知道臥式退火爐有什么特點?有什么優(yōu)點?本文將為您詳細介紹臥式退火爐，快來一起看看吧。
 

 什么是臥式退火爐

  退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結構，采用纖維結構，節(jié)電60%。



  臥式退火爐的特點

  臥式退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，臺車臥式退火爐用槽鋼作主梁，底板及前后端板采用中板。臥式退火爐傳動部分：臺車傳動采用電動機、減速機通過鏈條帶動前端一組主動輪傳動。爐門傳動是采用蝸輪減速機和電動機組合電動升降。密封：臺車與爐體密封采用迷宮式結構，并在臺車兩側有自動沙封刀密封裝置。爐門密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動機構密封該爐爐體部分采用優(yōu)質耐火磚結構，保證爐膛密封性。在臺車耐壓部分采用高鋁磚砌筑，下部均添保溫磚保溫。臥式退火爐燃燒系統(tǒng)：在油爐兩側各安裝數(shù)只燒咀，熱流在爐內往復循環(huán)，確保爐溫均勻性。根據需要可選定自動型和半自動型。排煙預熱裝置：在爐后上端安裝了排煙預熱裝置，爐內的煙氣通過預熱器時，由風機送入冷風進行預熱，再由管路送至燒咀進行助燃，并在出口安裝一只手動碟閥，該閥可調節(jié)爐內壓力。廣泛應用于化工、石油、食品、冶金、機械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發(fā)等工藝過程中。
 

  臥式退火爐的優(yōu)點

  退火爐熱流在爐內往復循環(huán)，爐溫均勻性好，無噪聲，無環(huán)境污染，蓄熱性小，熱量流失少，控溫精度高，爐溫均勻性強，自動化程度高，操作簡單，可采用PID編程設定，全自動履行，密封性好，壽命長，安全可靠。 |